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 臭氧具有僅次于氟的強氧化性，完全有能力將煙氣惡劣環境中的NO氧化成高價態，提高煙氣中氮氧化物的水溶性，從而通過濕法洗脫。其中主要包括以下反應：    NO+O3→NO2+O2       (1)

       NO2+O3→NO3+O2       (2)

        NO2+NO2→N2O4       (3)

        N2O4+O3→N2O5       (4)

       NO3+NO2→N2O5       (5)

        3NO2+H2O→2HNO3+NO       (6)

       N2O5+ H2O→2HNO3       (7)

    臭氧鍋爐脫硫脫硝技術利用臭氧將NO氧化為高價態的氮氧化物后，需要進一步地吸收。常見的吸收液有Ca(OH)2、NaOH 等堿液。不同的吸收劑產生的脫除效果會有一定的差異。例如有人在利用水吸收尾氣時，NO的脫除效率可達到86.27%，這是利用氣體在水中的溶解度進行吸收，也有試驗利用吸收液將高價氮氧化物還原成為N2 后直接排入大氣中。